【登録情報】
発明の名称(登録時) マイクロイオンビーム形成用部材の配置方法及びプリズム付きプリズム調整台
出願ルート JP
職務発明者 今関等、酢屋徳啓
公開番号/特許番号 2005-135710/4341824
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