【登録情報】
発明の名称(登録時) ナノメーターサイズ領域の標準粒子の発生方法とその発生装置
出願ルート JP
職務発明者 一坪宏和、床次眞司、宮本勝宏、山田裕司
公開番号/特許番号 2001-165824/3783912
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